质量流量计TSM-L140
TSM-L140是TSM-L100系列的一款模拟式质量流量计。
产品说明
1、大小为小,空间的利用是优秀的
2、推广型产品
产品详细规格如下表:
区分
TSM-L120
TSM-L130
TSM-L140
流量范围(N₂基准)
sccm
60 slm
60~150 slm
50~400 slm
流量控制范围
2~100%of Full Scale
准确度
≤±5%of Full Scale
直线性
≤±0.5%of Full Scale
再现性
密封种类
Elastomer (Viton",Viton-ETP,Kalrez,etc.)
输出入信号
模拟型:0~5VDC或4~20mA
电源
+15~24 VDC
推荐温度范围
15~35℃
预热时间
30分钟
连接方式
D-SUB 15PIN MALE MOLEX4P MALE
重量(STS基准)
0.46 kg
0.84 kg
1.2 kg
TSM-L140外形图和参数如下所示:
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