M3030VA质量流量控制器
韩国LineTech公司于2003年推出M3030系列气体质量流量控制器，这是一款采用模拟控制技术（Analog Type）的创新产品。该控制器专为气体流量的稳定调节设计，支持手动设定或通过计算机连接实现自动化控制，能在广泛的流量范围内提供快速且精准的气体流量调控。即便面临系统压力的波动或环境温度的细微变化，M3030系列仍能稳定工作，其性能表现几乎不受影响，原则上无需额外的温度和压力补偿措施。
M3030系列气体质量流量控制器具备强大的信号转换能力，可将测量到的气体流量值转换为标准的电信号输出，支持0-5V或4-20mA的输入输出范围。这一特性极大地简化了流量的数字化显示、累计流量的自动计量、数据的实时记录与电脑远程管理等操作。同时，它也为实现气体流量的精确自动控制提供了可能。基于不同的输入输出信号需求，该系列被细分为M3030V与M3030A两个型号，以满足多样化的应用场景和客户需求。
热式质量流量计/控制器用于精确测量和控制气体。它们主要用于实验室和中试工厂的仪器仪表中，流量非常小或适中。传统的流量计不适合用于这些应用。M3030VA质量流量控制器可以广泛应用在中试工厂、CVD、气体混合、燃料电池、等离子体等行业中。
M3030VA质量流量控制器具有以下优点：
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示：
| 型号 | M3030VA |
|---|---|
| 范围(N2) | 0.01slpm~30slpm |
| 响应时间 | < 2 秒 |
| 准确性 | 满量程的±1% |
| 重复性 | ±0.25% |
| 输入/输出信号 | 0~5Vdc或4~20mA |
| 供电 | +15 或 +24Vdc，350mA |
| 最大工作压力 | < 90 巴 |
| 最高工作温度 | 0~50℃ |
| 泄漏率 | 1X10 -9atm.cc/sec |
| 控制范围 | 3~100% |
| 连接 | “A”尺寸（毫米） |
|---|---|
| 1/8" SW | 126.7 |
| 1/4" SW | 128 |
| 3/8" SW | 134.3 |
| 1/4"VCR | 127.8 |
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