质量流量控制器M3700VA
质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。 M3700VA是Line Tech推出的一款高精度的模拟式气体质量流量控制器,其通过精密的传感器和流量调节机制,实现了对气体流量的高精度、高稳定性的控制,广泛应用于生物技术、 燃料电池、环保设备、大学、实验室、研发机构和研发设备、LED 照明、金属加工等中。其可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求, 且不受环境温度及压力变化的影响。
M3700VA质量流量控制器具有以下优点:
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示:
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